- °¡°ø ½Ã°£ ´ÜÃà 50%
- °ø±¸ ¼ö¸í Áõ°¡ 200%
CVD(ÈÇÐ Áõ±â¼®Ãâ: Chemical Vapour Deposition)±â¼ú°ú MTCVD(ÀûÁ¤
¿Âµµ ÈÇÐ Áõ±â ¼®Ãâ: Moderate Temperature Chemical Vapour Deposition)±â¼ú·Î
ÄÚÆõǾú´Ù.
¤ýTiNÃþ - ³ë¶õ»öÀÇ ÇǸ·Àº ¸¶¸ð»óÅ ÆľÇÀÌ ¿ëÀÌ
¤ýTi(C,N)Ãþ - Ź¿ùÇÑ ³»¸¶¸ð¼º(Ãø¸é ¹× »ó¸é)
¤ýAl2O3Ãþ - °í¼Ó°¡°ø¿¡¼ È¿°úÀûÀÎ ¿ Â÷´Ü¸·
¤ýTi(C,N)Ãþ - ¿ì¼öÇÑ ÀÀÁý·Â°ú Àμ±°µµ
dzºÎÇÑ ÄÚ¹ßÆ® ÃþÀÇ Ç¥ÇÇ¿µ¿ª
- ÄÚÆÃÃþ°úÀÇ °·ÂÇÑ Á¢Âø ¹× ³ôÀº Àμ±ÀμºÀ¸·Î Ãæ°Ý¿¡ µû¸¥ ĨÇÎ ¹æÁö
´Ü´ÜÇÑ ³»ºÎÁ¶Á÷
- ¿ì¼öÇÑ ³»¼Ò¼ºº¯Çü
- ´Ü´ÜÇÑ ³»ºÎÁ¶Á÷À¸·Î °¼º À¯Áö
TP1000 Calculator(ÀÌ°÷À» Ŭ¸¯ÇϽøé ÃßõÀý»èÁ¶°ÇÀ» ¾Ë¼ö ÀÖ½À´Ï´Ù.) |